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高真空低返油擴散泵

KTD系列高真空低返油油擴散泵為凸腔型,可獲得10-2~10-5Pa高真空和超高真空,由于將水冷擋油帽與泵體組成個整體,提高了系統的有效抽速,節省了配置費用,具有抽速大,返油低,結構簡單等特點,廣泛用于電子、;冶金、真空鍍膜、空間模擬等領域。

 

主要技術參數:
型號 極限壓力 抽氣速率 臨界前級壓力 返油率 加熱功率 電源電壓 冷卻水用量 泵油牌號 泵油用量 推薦前級泵抽速 外形尺寸 重量
Pa 單泵 擋板 Pa 單泵 擋板 kW V L/h L L/s mm kg
K-100TD ≤5*10-5 ≥300 ≥240 ≥30 ≤5*10-3 ≤6*10-4 0.3 220 120 KS-3或275#硅油 KS-3oli-275# 0.12 15 305*170*385 10
K-320TD ≤5*10-5 ≥4200 ≥3500 ≥40 ≤5*10-3 ≤6*10-4 4 220 500 1.5~1.8 30 730*500*910 70
K-500TD ≤5*10-5 ≥10000 ≥8000 ≥40 ≤5*10-3 ≤6*10-4 6.9 380 750 4.4~5 70 1065*680*1285 125
K-800TD ≤5*10-5 ≥24000 ≥20000 ≥40 ≤5*10-3 ≤6*10-4 15 380 1200 10 300 1700*1000*1955 850
K-1000TD ≤5*10-5 ≥38000 ≥32000 ≥40 ≤5*10-3 ≤6*10-4 24 380 1500 16 300 2020*1290*2325 980
K-1200TD ≤5*10-5 ≥55000 ≥50000 ≥40 ≤5*10-3 ≤6*10-4 24 380 2400 16~20 500 2300*1550*2670 1640

特性曲線:



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